透明導電膜(第二版)
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$ 350
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$ 315
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透明導電膜(第二版)-需求單
內容簡介
本書第一版問世後，適逢行動電話、平板電腦與太陽電池等產業的蓬勃發展，透明導電膜材料顯得更加重要。第二版增補了原有TCO方面的內容，並加入一些非TCO材料的簡介，也包含透明導電膜應用在光電產品上的基本知識與實務經驗。因此除了做為透明導電膜初學者的入門書與研發者的參考資料之外，本書也能幫助讀者縮短未來進入相關產業後的學習時間。
序言
本書第一版問世至今已有六年，這六年適逢行動電話與太陽電池等光電產業的蓬勃發展，透明導電膜的重要性有增無減，尤其是隨著手機用觸控面板的普及，ITO成為關鍵材料。這段期間筆者也離開研究機構前往業界，得以接觸產業上的實務及多種透明導電材料，因此在著手撰寫第二版時，盡量將這些實務上的知識與經驗收納進來，以補第一版之不足。
第二版仍以筆者較熟悉的透明導電氧化物(TCO)為主，增補了一些TCO方面的內容。然而，這幾年非TCO透明導電膜的發展也非常興盛，有些甚至可能即將商業化，因此也將這些材料納入。第一版提到的透明電子學，這幾年也已成為顯學，尤其是其中的TCO材料a-IGZO更是大放異彩。因為相關的文獻報告已經很多，所以這裡也只做簡單並且偏重應用面的介紹。
做為透明導電膜的入門，本書除了讓讀者了解TCO的基本知識之外，如果也能幫助讀者縮短未來進入相關產業後的學習時間，基本上便達到筆者設想的目標。在收集、整理資料的過程中，獲得不少過去與現在的同事、業界先進與友人的指導與慷慨協助，或提供資料，或解答疑惑，使本書得以順利完成，筆者在這裡也要表達真誠的感謝之意。
作者簡介
楊明輝
學歷
清華大學物理學士
清華大學材料碩士
交通大學機械工程博士
現職
欣興電子股份有限公司 資深特助
專長
透明導電氧化物的材料
特性、成膜技術及薄膜
性質研究
目次
第一章 透明導電膜簡介
1.1 透明導電薄膜材料 1
1.2 透明導電膜的應用 2
1.3 透明導電膜的種類 6
第二章 金屬氧化物透明導電膜的導電性質
2.1 與導電性質有關的量 9
2.2 金屬導電性的Drude模型 11
2.3 金屬與TCO的自由電子氣體 14
2.4 TCO的載子來源與載子濃度 16
2.5 摻雜物的電子能量 19
2.6 載子對能帶結構的影響 20
2.7 載子的散射機制與遷移率 21
2.7.1 載子的散射機制 21
2.7.2 晶格振動散射 21
2.7.3 晶界散射 22
2.7.4 摻雜物離子散射 23
2.7.5 中性摻雜物散射 26
2.8 非晶形透明導電材料 27
2.9 TCO的電性表現 28
第三章 金屬氧化物透明導電膜的光學性質
3.1 與光學性質有關的係數 31
3.2 TCO為何透明？ 34
3.3 TCO的IR區光學性質 37
3.3.1 Drude-Lorentz模型 37
3.3.2 交流導電率與光學性質 40
3.3.3 Drude-Lorentz模型在摻雜型半導體的修正 44
3.3.4 TCO的電性與光學性質的關係 45
3.4 TCO的UV區光學性質 47
3.5 TCO薄膜的顏色 50
第四章 n型透明導電膜材料
4.1 氧化銦 53
4.1.1 材料特性 53
4.1.2 材料結構 53
4.1.3 薄膜性質 57
4.2 氧化錫 64
4.2.1 材料特性 64
4.2.2 材料結構 64
4.2.3 薄膜性質 66
4.3 氧化鋅 68
4.3.1 材料特性 68
4.3.2 材料結構 68
4.3.3 薄膜性質 69
4.4 透明導電材料的性質比較與選用 71
4.5 n型透明導電膜的新材料 73
第五章 p型透明導電膜材料
5.1 p型TCO材料簡介 75
5.2 Delafossite結構p型TCO 76
5.3 非delafossite結構p型TCO 79
5.4 p型ZnO 81
第六章 透明導電膜的物理成膜法
6.1 濺鍍 85
6.1.1 濺鍍技術簡介 85
6.1.2 濺鍍條件對透明導電膜性質的影響 92
6.1.3 脈衝磁控濺鍍 103
6.2 真空蒸鍍 107
6.3 電弧放電 111
6.3.1 陽極電弧放電蒸鍍 111
6.3.2 陰極電弧放電蒸鍍 114
6.4 脈衝雷射蒸鍍 117
6.5 塑膠基材上的TCO鍍膜 118
6.5.1 對向靶濺鍍法 120
6.5.2 RF磁控濺鍍 120
6.5.3 粒子動能控制濺鍍 123
6.5.4 捲繞式磁控濺鍍 124
6.5.5 真空蒸鍍 126
6.5.6 陽極電弧放電蒸鍍 126
6.5.7 脈衝雷射蒸鍍 127
第七章 透明導電膜的濕式化學成膜法
7.1 濕式化學成膜法簡介 129
7.2 化學成膜材料的製備1 30
7.3 熱分解法 131
7.4 浸沾法 140
7.5 化學氣相沉積法 142
7.6 加法式成膜技術 142
7.7 塗佈光分解法 143
7.8 電子電漿退火法 144
7.9 電化學成膜 145
7.10 原子層磊晶法 146
7.11 奈米TCO微粒的成膜法 149
第八章 透明導電膜的新發展
8.1 超低電阻透明導電材料 151
8.2 開發新透明導電膜的嘗試 153
8.3 透明薄膜二極體與電晶體 156
8.4 多元透明導電材料及其組合 161
第九章 透明導電膜的檢測
9.1 硬度 165
9.2 附著程度 166
9.3 厚度 166
9.3.1 輪廓儀量測 166
9.3.2 多重光束干涉法 166
9.3.3 橢圓偏光儀 167
9.3.4 斷面觀察 167
9.4 導電性質 167
9.4.1 片電阻及電阻率 167
9.4.2 Hall效應量測 167
9.5 光學性質 168
9.5.1 薄膜穿透率與反射率 168
9.5.2 折射係數 168
9.5.3 霧度 168
9.5.4 能隙 168
9.5.5 顏色 169
9.6 微結構 169
9.6.1 材料鑑定與晶粒指向 169
9.6.2 晶粒大小 169
9.6.3 表面形態 169
9.6.4 斷面形態 169
9.6.5 表面粗糙度 170
9.7 薄膜密度 170
9.8 能帶結構 170
第十章 非TCO透明導電膜材料
10.1 銀與銅 171
10.1.1 奈米銀 172
10.1.2 網格銀或銅 172
10.1.3 銀與銅的透明導電膜產品 172
10.1.4 銀銅透明導電膜的圖案化 172
10.2 導電高分子 174
10.3 石墨烯 175
10.4 奈米碳管 179
第十一章 光電產品中的透明導電膜
11.1 觸控面板用透明導電膜 181
11.1.1 電阻式觸控面板 181
11.1.2 表面電容式觸控面板 187
11.1.3 投射電容式觸控面板 189
11.2 太陽電池用透明導電膜 197
11.2.1 概論 197
11.2.2 氧化錫 199
11.2.3 氧化鋅 200
11.2.4 薄膜矽太陽電池用透明導電膜 200
11.2.5 染料敏化太陽電池(DSSC) 204
11.2.6 銅銦鎵硒(CIGS)太陽電池 206
11.3 平面顯示器用透明導電膜 207
11.3.1 新透明電極材料－IZO 207
11.3.2 新薄膜電晶體材料－IGZO 208
參考資料 211
ISBN-13碼 :
9789576169779
出版日期 :
2012/12/20
版次 :
2
CIP :
448
書系代碼 :
38009
作者 :
楊明輝
開數 :
16開
頁數 :
244
裝訂 :
平裝
印刷 :
黑白
定價 :
350
